製品紹介
1.チタンターゲットは、PVDフィルムのスパッタリングに使用される高純度チタン板またはバーからなる金属ターゲットです。
2. 基本情報
チタンターゲット形状:長方形、正方形、ディスク、ロータリー、チューブ、ロッド。
純度(99.5%、99.995%)、ASTMグレード1、ASTMグレード2、TiAl6V4
標準: ASTM B 337 ASTM B338, ASTM B385-91, ASTM381, ISO 5832/2, JIS H4650, Din 17851
形:ディスク(直径)<350mm), thickness="">1mm長方形(長さ1800mm、幅400mm厚さ>1mmチューブ(ロータリーターゲット、外径:20mm〜160mm、厚さ:2〜20mm、長さ:カスタムメイドOD>160、厚さ>8mm、長さ<>
3.チタンターゲットアプリケーション:薄膜を飾る蒸着膜窒化物、ビームスプリッタまたは絶縁体としてTiO2に酸化された蒸着膜
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チタンスパッタリングターゲット
高純度チタンターゲット
4.純度は、ターゲットの純度がフィルムの性能に大きな影響を与えるため、チタンターゲットの主なパフォーマンス指標の1つです。しかしながら、実際の用途では、ターゲット材料の純度要件は同じではない。
5. 表面工学のためのマルチアークターゲット(装飾用具)
| 製品名 | 純度 | 密度 | 支配的な色のコーティング | 形 | 通常サイズ | アプリケーション業界 |
| チタンアルミニウム(TiAl)合金ターゲット | 2N8-4N | 3.6-4.2 | ローズゴールド/ブラウン | 円筒 | 直径 60/65/95/100*30/32/40/45ミリメートル | 装飾産業 |
| 純クロム(Cr)ターゲット | 2N7-4N | 7.19 | ホワイト/ブラック | 円筒 | ||
| 純チタンターゲット(Ti) | 2N8-4N | 4.51 | ゴールデンイエロー/ガンブラック | 円筒 | ||
| ブルー/ローズレッド | ||||||
| 純ジルコニウム(Zr)ターゲット | 2N5-4N | 6.5 | 金 | 円筒 | ||
| 純アルミニウム(Al))ターゲット | 4N-5N | 2.7 | 銀 | 円筒 | ||
| 純ニッケル(Ni)ターゲット | 3N-4N | 8.9 | メタルカラー | 円筒 | ||
| ニッケルバナジウム(Ni)ターゲット | 3N | 8.57 | 青緑 | 円筒 | ||
| 純粋なニオブ(Nb)ターゲット | 3N | 8.57 | 白い | 円筒 | ||
| ピュアタンタル(Ta)ターゲット | 3N5 · | 16.4 | ブラックパープル | 円筒 | ||
| 純粋なモリブデン(Mo)ターゲット | 3N5 · | 10.2 | 黒い | 円筒 |
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