蒸発船は蒸発容器の総称で、使用目的によって構成部品や材質が異なりますが、構造が簡単で使い勝手が良いため、最も広く使用されている蒸発源です。
蒸発ボートの一般的な材料には、タングステン、モリブデン、タンタル、グラファイトなどがあります。通常、ボート型の蒸発源はタングステン材料で作られていますが、現在では蒸発ボートも導電性の高性能セラミック複合材料で作られています。使用される主な原材料は、窒化ホウ素と二ホウ化チタンです。蒸発面には溝加工やレーザー表面エッチングを施すことができ、信頼性の高い性能、正確な蒸発速度、長寿命を備えています。
蒸発タングステンボートは、高密度、高融点、高強度、高硬度、低蒸発速度、低蒸気圧、耐高温性、耐摩耗性、耐腐食性、良好な導電性および熱伝導性などの特性を備えています。金メッキ、蒸発器、イメージングチューブ、加熱容器、電子ビームスプレーペイント、家電製品、民生用電子機器、半導体、およびさまざまな装飾などの真空コーティングまたはアニーリング業界で広く使用されています。
モリブデン蒸発ボートは高温環境に適しています。酸化ランタン（モリブデンランタン）をドーピングすると、モリブデンの延性と耐腐食性がさらに向上します。真空炉、ガラス炉、コーティング技術、電子産業、電力工学、コンデンサ焼結、核燃料焼結、熱電対ケースなどに広く使用されています。
蒸発ボートの使用
1. 2 列の固定具を一列に並べ、表面を滑らかに保つ必要があります。
2. 良好な電気的接触と熱伝導性を確保するために、端面または側面にグラファイト紙を使用する必要があります。
3. 新しいボートを初めて加熱するときは、蒸発ボートの温度を正確に測定するために、溝の中央にアルミニウム線を置きます (注意: この方法は、スロットのない三角形のボートを使用する場合は使用できません)。
4. アルミ線の接触点は、ボートの長さの 3 分の 1 から半分の位置に配置する必要があります。
5. 新しいボートの最初の加熱は、空気圧の低下を防ぐために速すぎないようにしてください。
6. 新しいボートを初めて使用する場合は、アルミニウムの供給速度を通常値の約 75% から徐々に上げ、電力を徐々に減らして、液体アルミニウムの拡散面積を広げる必要があります。
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